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微納加工三個主流技術
2022-04-01

微納加工技術是當今時代最重要的技術之一，歷史雖然不長，但發(fā)展迅速。從實際應用來看，主要可分為兩大類，硅基微機械加工技術和非硅基微機械加工技術...
MEMS器件最常用的加工方法
2022-03-26

MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜，并...
mems傳感器的加工尺寸
2022-03-15

　　mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，意為微機電系統(tǒng)。　　mems傳感器就是利用mems技術制造的傳感器。mems加工通常是由...
mems代工之表面微機械加工
2022-03-02

MEMS代工之表面微機械加工是以硅片為基體，通過膜淀積和圖形加工制備三維微機械結構。硅片本身不被加工，器件的結構部分...
cmos設計和mems設計的區(qū)別
2022-01-12

　　CMOS被稱為互補金屬氧化物半導體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。　　MEMS中文名微電子機械系統(tǒng)，是具備獨立功能的智能系統(tǒng)...
MEMS設計表面微加工存在的力學問題
2021-12-25

MEMS設計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結構的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...

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