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mems傳感器的加工尺寸
點(diǎn)擊量:1469 日期:2022-03-15 編輯:硅時(shí)代
mems傳感器就是利用mems技術(shù)制造的傳感器。mems加工通常是由1-100μm的部件組成,微機(jī)電設(shè)備的尺寸大多是20μm-1mm,也代表mems傳感器體積更能適應(yīng)智能設(shè)備的小型化需求,mems傳感器的加工尺寸長(zhǎng)寬高也都在毫米級(jí)別。