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表面形貌測試

探針式表面輪廓儀：
P-7 是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統，歷經技術積累和不斷迭代更新，集合眾多技術優勢。P-7建立在市場P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。它保持了P-17技術的卓越測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了極高的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
主要功能
臺階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接 ? 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
生產能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現全自動化

晶圓切割| 陶瓷管殼封裝| sop8封裝| 掩膜版

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