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測試服務

測試服務

Testing service

薄膜厚度測試
應用:
–可以測量最大5層重疊薄膜的厚度和折射率。
–可測量如氧化物，氮化物，光阻，導電玻璃，聚合物和半導體薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技術指標參數:
–對特定的介電質測量厚度范圍20納米到150微米。
–對特定的材料厚道測量精度小于厚度的百分之一。
–測量波長范圍350納米到1450納米。
–自動測量點定位的功能，電機驅動的樣品臺最大可滿足直徑200毫米樣品使用。
–有完備的光學參數數據庫可供調用。


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