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臺階高度測試

工作原理：
探針根據設定的掃描長度、速度和接觸力在樣品表面移動，隨著樣品表面的變化，鏈接在探針上的線性差動變壓器接收處理變化的電信號。將變化的電信號轉換成數字信號后，就能重現樣品表面的起伏變化。
用途
–可以測量薄(厚)膜臺階高度(納米、微米級別)；
–可以測量樣品表面形貌和起伏度，也可以測量納米級樣品表面粗糙度；
–可以測量并分析樣品的三維形貌；

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