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TEM（透射電子顯微鏡）

應用：
透射電子顯微鏡在材料科學、生物學上應用較多。由于電子易散射或被物體吸收，故穿透力低，樣品的密度、厚度等都會影響到最后的成像質量，必須制備更薄的超薄切片，通常為50～100nm。所以用透射電子顯微鏡觀察時的樣品需要處理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷凍超薄切片法、冷凍蝕刻法、冷凍斷裂法等。對于液體樣品，通常是掛預處理過的銅網上進行觀察。
樣品要求：
粉末樣品基本要求：
（1）單顆粉末尺寸最好小于1μm；
（2）無磁性；
（3）以無機成分為主，否則會造成電鏡嚴重的污染，高壓跳掉，甚至擊壞高壓槍；
塊狀樣品基本要求：
（1）需要電解減薄或離子減薄，獲得幾十納米的薄區才能觀察；
（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等機械方法制成粉末來觀察；
（3）無磁性；
用途
X射線能譜在透射掃描電鏡中與掃描功能配合可得元素分布圖。應用電子通道增強效應還可以測定雜質元素或合金元素在有序化合物中占據亞點陣位置的百分數。
優點
（1）能譜儀探測X射線的效率高；
（2）在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長；
（3）結構簡單，穩定性和重現性都很好；
（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。

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