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MEMS加工

為成就您的產品，而努力

Work hard to make your product

外延生長·摻雜
  • 金屬有機物化學氣相沉積
    GaN，GaAs
  • 化學氣相沉積
    SIC
  • 離子注入
    B，P，F，Al，N，Ar，H，He，Si
  • 高溫氧化
    1150℃
  • 高溫擴散/退火
    900℃-1100℃
  • 快速退火
    150℃-1000℃

案例展示


                                                    

                                         Diamond-coated wafers                                                                                      晶圓圓片長膜、圖形化



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2024-11-27

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2024-11-29

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2024-11-04

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2024-11-05

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