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mems代工之表面微機械加工
點擊量:1395 日期:2022-03-02 編輯:硅時代
MEMS代工之表面微機械加工是以硅片為基體,通過膜淀積和圖形加工制備三維微機械結(jié)構(gòu)。硅片本身不被加工,器件的結(jié)構(gòu)部分由淀積的薄膜層加工而成,機構(gòu)和基體之間的空隙應(yīng)用犧牲層技術(shù),其作用是支持結(jié)構(gòu)層,并形成所需要的形狀的空腔尺寸,在微器件制備的最后工藝中溶解犧牲層。