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2022-06-10
MEMS傳感器也稱作是微機電系統(tǒng),它涉及多門學(xué)科,綜合性比較強,應(yīng)用前景廣闊,是當(dāng)今備受矚目的領(lǐng)域之一。 MEMS設(shè)計是長期技術(shù)經(jīng)驗的結(jié)晶,有...
2022-06-02
激光微納制造技術(shù)是微納制造技術(shù)的重要部分,涉及光學(xué),物理,材料,化學(xué),生物,機械,控制等多門學(xué)科,綜合性較強。它具體是指激光與材料在某種特定...
2022-05-26
基于制造業(yè)對加工精度的要求日益提高,微納加工技術(shù)應(yīng)運而生,從誕生至今,其應(yīng)用領(lǐng)域得到了很大擴展。就國內(nèi)而言,微納技術(shù)除了應(yīng)用在微電子技術(shù),生...
2022-05-20
常見的MEMS設(shè)計熱電堆傳感器有封閉膜式和懸臂梁式。 傳統(tǒng)熱電堆芯片采用濕法腐蝕工藝,CMOS-MEMS熱電堆芯片則采用干法腐蝕工藝。
2022-05-05
微納制造技術(shù)是建筑納米科技大廈的基石之一,其在傳感器上的應(yīng)用成果即MEMS傳感器,包括壓力傳感器,加速度傳感器,圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)...
2022-04-12
mems設(shè)計之硅壓阻式壓力傳感器,顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器,其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變,引起惠斯通電橋的不平衡變化,繼而...