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微納制造技術(shù)在傳感器的應(yīng)用
點(diǎn)擊量:1258 日期:2022-05-05 編輯:硅時(shí)代
微納制造技術(shù)是建筑納米科技大廈的基石之一,其在傳感器上的應(yīng)用成果即MEMS傳感器,包括壓力傳感器,加速度傳感器,圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)療,汽車電子,運(yùn)動(dòng)追蹤等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。