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2021-12-11
mems傳感器要處于最佳工作狀態(tài),需要通過各種軟件對測量過程進行管理和調(diào)節(jié),并對數(shù)據(jù)進行各種處理,進而增加傳感器功能,提高其性能指標。高質(zhì)...
2021-12-03
聚焦離子束(FIB)技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割...
2021-11-26
由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高(精度可達到0.7um)等優(yōu)勢,...
2021-11-18
MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設(shè)備。加速度計目前有兩種:一種是角加速度傳感器,也叫陀螺儀;另一種是線加速度計。 ...
2021-11-05
在MEMS加工工藝中,從上到毫米,再下到微米的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)都可稱之為MEMS工藝制造,其在半導(dǎo)體和微電子工藝基礎(chǔ)上發(fā)展而來,以光刻,鍍...
2021-10-29
微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一,對國家裝備實力和國民經(jīng)濟技術(shù)的發(fā)展起到重要作用。微納制造技術(shù)的進步,推動著三大前沿科技的...