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MEMS加工和傳統機械加工的區別

點擊量：2489 日期：2021-11-05 編輯：硅時代

　　在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結構加工技術都可稱之為MEMS工藝制造，其在半導體和微電子工藝基礎上發展而來，以光刻，鍍膜，刻蝕，外延，氧化，濺射等許多基本的工藝制造復雜立體的三維微加工技術。與傳統機械系統相比，不僅體現在很小的體積方面，其在力學，運動學，材料特性等方面都有巨大差異！?

圖1.1 MEMS工藝制造圖

　　但無論哪種微小原件都離不開光刻，刻蝕，鍍膜三大方面，就是在一個或多個循環的基礎上形成我們想要得到的元器件，在這個過程中又以光刻技術最為重要，所有的MEMS工藝都離不開光刻。光刻的好壞直接影響后續的鍍膜刻蝕等工藝成敗。因此在光刻過程中尤其注意圖形分辨率以及套刻精度等方面的影響。

圖1.2 光刻流程示意圖

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