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MEMS加工的加速度技術(shù)

點(diǎn)擊量：1501 日期：2021-11-18 編輯：硅時代

　　MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設(shè)備。加速度計目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線加速度計。

　　加速度傳感器的原理隨著其應(yīng)用不同而出現(xiàn)不同類型的加速度傳感器，其分類有壓阻式，電容式，壓電式，諧振式，伺服式等。

　　壓阻式是較早的微型化和商業(yè)化的一類加速度傳感器。其加工工藝比較簡單，主要采用注入、推進(jìn)、氧化的工藝來制作壓敏電阻；采用KOH腐蝕來制作質(zhì)量塊并使用AES來釋放梁和質(zhì)量快，最后采用鍵合工藝來得到所需的“三明治”結(jié)構(gòu)。
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