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2021-09-09
MEMS代工主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分, MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁,這些微機械結(jié)...
2021-04-30
MEMS加工平臺的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(MicroElectromechanicalSystem),是利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料,集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械機構(gòu)、...
2021-04-14
MEMS加工在MEMS陀螺儀領(lǐng)域的應(yīng)用。陀螺儀的另一種叫法又稱角速度傳感器,從定義上來看陀螺儀是測量載體角運動或者角速度的傳感器從應(yīng)用的角度...
2021-04-13
CVD 加工工藝是制作微傳感器、微執(zhí)行器 和 MEMS加工的主流技術(shù) ,是近年來隨著集成電路工藝 發(fā)展起來的 ,它是離子束、電子束、...
2020-12-18
mems器件加工是根據(jù)產(chǎn)品需要,在各類襯底(硅襯底,玻璃襯底,石英襯底,藍(lán)寶石襯底等等)制作微米級微型結(jié)構(gòu)的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的...
2020-11-24
微納代工服務(wù)商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠: IDM廠商自身主要以自己的MEMS產(chǎn)品為主,利用空余的產(chǎn)能提供MEMS代工,...