激光
微納制造技術(shù)是微納制造技術(shù)的重要部分,涉及光學(xué),物理,材料,化學(xué),生物,機(jī)械,控制等多門學(xué)科,綜合性較強(qiáng)。它具體是指激光與材料在某種特定條件下相互作用,以此改變材料的物質(zhì)和形態(tài),實(shí)現(xiàn)微米甚至是納米尺度的控形與控形。
在能量密度,作用空間,以及時(shí)間尺度等多方面,激光微納制造技術(shù)都有著近乎極端的要求。由此也催生出了一批新技術(shù),很大程度上推動(dòng)了相關(guān)學(xué)科以及制造業(yè)的發(fā)展。