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電子束光刻充電效應
2023-07-28

當我們使用電子束光刻做pattern時，有時候會發現在一些特殊情況下，無法獲得完美的圖形（圖形變形、斷線等），這種情況極有可能是因為電子束光刻的充電...
LIGA電鑄技術
2023-07-26

我們知道，在微納米技術的發展中MEMS一直是一個重要的應用方向，MEMS技術在尺度上的特點是橫跨1um到1mm尺度且結構復雜，除了常規我們使用的...
PECVD工藝
2023-07-26

PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition）是等離子增強化學氣相淀積，該技術是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極...
MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積
2023-07-25

MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機化合物化學氣相沉積設備），是在氣相外延（VPE）的基礎上發展起來的一...
MEMS傳感器的分類及介紹
2023-07-25

MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計，&...
lift-off工藝中“毛刺”的產生和改善措施
2023-07-25

在材料、微電子等研究課題中，制作高品質的電極是準確反映材料或者器件本身性能的前提條件，為此我們需要制作一個高品質的電極。在此，光刻中剝離（li...

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