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MEMS傳感器的設計用哪些軟件
2021-12-11

　　mems傳感器要處于最佳工作狀態，需要通過各種軟件對測量過程進行管理和調節，并對數據進行各種處理，進而增加傳感器功能，提高其性能指標。高質...
聚焦離子束技術及其在微納加工技術中的應用
2021-12-03

　　聚焦離子束（FIB）技術是將離子源產生的離子束經過離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割...
飛秒激光微納加工的動力學原理
2021-11-26

　　由于能量集中度高、熱影響區域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環境、沒有后續工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達到0.7um）等優勢，...
MEMS加工的加速度技術
2021-11-18

　　MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速度計目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線加速度計。　　...
MEMS加工和傳統機械加工的區別
2021-11-05

　　在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結構加工技術都可稱之為MEMS工藝制造，其在半導體和微電子工藝基礎上發展而來，以光刻，鍍...
微納制造可以應用在什么哪些領域？
2021-10-29

　　微納制造作為國家新興產業發展的重大關鍵技術之一，對國家裝備實力和國民經濟技術的發展起到重要作用。微納制造技術的進步，推動著三大前沿科技的...

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