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MEMS傳感器設計需要考慮什么
2022-06-10

MEMS傳感器也稱作是微機電系統，它涉及多門學科，綜合性比較強，應用前景廣闊，是當今備受矚目的領域之一。 MEMS設計是長期技術經驗的結晶，有...
聊一聊激光微納制造技術
2022-06-02

激光微納制造技術是微納制造技術的重要部分，涉及光學，物理，材料，化學，生物，機械，控制等多門學科，綜合性較強。它具體是指激光與材料在某種特定...
微納加工技術的國內應用現狀
2022-05-26

基于制造業對加工精度的要求日益提高，微納加工技術應運而生，從誕生至今，其應用領域得到了很大擴展。就國內而言，微納技術除了應用在微電子技術，生...
mems熱電堆芯片加工
2022-05-20

常見的MEMS設計熱電堆傳感器有封閉膜式和懸臂梁式。傳統熱電堆芯片采用濕法腐蝕工藝，CMOS-MEMS熱電堆芯片則采用干法腐蝕工藝。
微納制造技術在傳感器的應用
2022-05-05

微納制造技術是建筑納米科技大廈的基石之一，其在傳感器上的應用成果即MEMS傳感器，包括壓力傳感器，加速度傳感器，圖像傳感器等。這些傳感器在醫...
mems設計之硅壓阻式壓力傳感器設計
2022-04-12

　　mems設計之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而...

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