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2021-04-30
MEMS加工平臺的全稱是微型電子機械系統(MicroElectromechanicalSystem),是利用傳統的半導體工藝和材料,集微傳感器、微執行器、微機械機構、...
2020-12-18
mems器件加工是根據產品需要,在各類襯底(硅襯底,玻璃襯底,石英襯底,藍寶石襯底等等)制作微米級微型結構的加工工藝。微納傳感器加工工藝制作的...