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  • LIGA與準LIGA技術
    LIGA與準LIGA技術

    2020-03-14

    LIGA與準LIGA技術 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開發了進行三維微細加工最有前途的方法——LIGA技術。 ——LI，Lithographier，即深度X射...

  • MEMS技術發展歷程
    MEMS技術發展歷程

    2020-03-13

    MEMS研究的歷史  MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，它的誕生和發展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。 隨著人類社會全...

  • SLIGA技術
    SLIGA技術

    2020-02-21

          SLIGA技術是H.Guckle教授等人結合硅面加工技術和常規LIGA技術而開發出的一種新工藝。在這個工藝中，犧牲層用于加工...

  • 微納加工技術的概念有哪些
    微納加工技術的概念有哪些

    2020-02-21

    MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微電子、微機械及材料科學為基礎，研究、設計、制造、具有特定功能的微型裝置，包括微結構器...

  • MEMS研究的歷史
    MEMS研究的歷史

    2020-02-21

    MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，它的誕生和發展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。 隨著人類社會全面向信息化邁進，信息系統的...

  • MEMS技術的研究現狀
    MEMS技術的研究現狀

    2020-02-21

    我國MEMS的研究始于二十世紀八十年代末。經過十多年的發展，我國在多種微型傳感器、微型執行器和若干微系統樣機等方面已有一定的基礎和技術儲備，...

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