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微流控芯片的制作技術(二）
2023-08-28

（2）熱壓法熱壓法（hot embossing）是一種應用較廣泛的快速復制電泳微通道的芯片制作技術，適用于PMMA與PC等熱塑性聚合物材料。熱壓法的模具...
點膠工藝如何不溢膠？
2023-08-28

點膠工藝如何不溢膠？要避免點膠過程中的膠水溢出，可以采取以下措施： 1. 控制點膠壓力調整點膠設備的壓力，確保膠水以適當的壓力流出。過高的壓力...
MEMS技術的加工工藝
2023-08-25

（二）硅表面微機械加工技術美國加州大學Berkeley分校的Sensor and Actuator小組首先完成了三層多晶硅表面微機械加工工藝，確立了硅表面微加工工藝...
刻蝕偏差（Etch Bias）
2023-08-22

刻蝕偏差是指刻蝕以后線寬或關鍵尺寸間距的變化（見圖1）。它通常是由于橫向鉆刻引起的（見圖2），但也能由刻蝕剖面引起。當刻蝕中要去除掩模下過量的...
微流控芯片的制作技術（一）
2023-08-22

（1）光刻和刻蝕技術傳統的用于制作半導體及集成電路芯片的光刻和刻蝕技術，是微流控芯片加工工藝中最基礎的。它是用光膠、掩膜和紫外光進行微細加工...
傳感器的功能
2023-08-21

通常將傳感器的功能與人類的五大感覺器官相比擬：光敏傳感器——視覺聲敏傳感器——聽覺氣敏傳感器——嗅覺化學傳感器——味覺壓敏、溫敏、流體傳...

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