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微流控芯片的制作技術(二）
點擊量：466 日期：2023-08-28 編輯：硅時代
（2）熱壓法
熱壓法（hot embossing）是一種應用較廣泛的快速復制電泳微通道的芯片制作技術，適用于PMMA與PC等熱塑性聚合物材料。熱壓法的模具可以是直徑在50 μm以下的金屬絲或是刻蝕有凸突的微通道骨片陽膜，如鎳基陽模、單晶硅陽模、玻璃陽模、微機械加工的金屬陽模。 此法可大批量復制，設備簡單，操作簡便，但所用材料有限。
（3）模塑法
用光刻和刻蝕的方法先制出陽模（所需通道部分突起），澆注液態的高分子材料，然后將固化后的高分子材料與陽模剝離，得到具有微通道芯片的這種制備微芯片的方法稱為模塑法。模塑法的關鍵在于模具和高分子材料的選擇，理想的材料應相互之間粘附力小，易于脫模。
微通道的陽膜可由硅材料、玻璃、環氧基SU-8負光膠和PDMS等制造。硅或玻璃陽膜可采用標準刻蝕技術。PDMS模具可通過直接澆注于由硅材料、玻璃等材料制的母模上制得。
澆注用的高分子材料應具有低粘度，低固化溫度。在重力作用下，可充滿模子上的微通道和凹槽等處。可用的材料有兩類：固化型聚合物和溶劑揮發型聚合物。
雖然模塑法受限于高分子材料，但該法簡便易行，芯片可大批量復制，且不需要昂貴的設備，是一個可以制作廉價分析芯片的方法。
（4）注塑法
注塑法的工藝是通過光刻和刻蝕技術在硅片上刻蝕出電泳芯片陰模，用此陰模進行24h左右的電鑄，得到0.5 cm厚的鎳合金模，再將鎳合金模加厚，精心加工制成金屬注塑模具，將此模具安裝在注塑機上批量生產聚合物微流控芯片基片。
在注塑法制作過程中，模具制作復雜，技術要求高，周期長，是整個工藝過程中的關鍵步驟。一個好的模具可生產30 ~ 50萬張聚合物芯片，重復性好，生產周期短，成本低廉，適宜于已成型的芯片生產。
