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微納加工中的圖形化工藝 激光束

點擊量:1630 日期:2020-03-31 編輯:硅時代

微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉移和直接加工兩種技術,圖形轉移技術包括三個部分:薄膜沉積,圖形成像,圖形轉移。而直接加工的激光束蝕刻技術具備直寫能力,避免的圖形轉移的多步工藝,通過控制聚焦的高能激光(短波/脈沖)束直接在刻蝕材料制作微細結構,具備微米/亞微米的薄膜蝕刻加工精度,適用于多種材料,實現三維的微結構的制作。

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