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碳化硅的化學機械拋光
2023-08-07

碳化硅單晶生長之后是晶碇，而且具有表面缺陷，是沒法直接用于外延的，這就需要加工。其中，滾圓把晶碇做成標準的圓柱體，線切割會把晶碇切割成晶片，...
如何選擇顯影液
2023-08-07

顯影是在曝光后的重要步驟，利用曝光區域在化學性質上與未暴光的區域不同，在特定的化學溶液中選擇性的保留曝光區域（負膠）或者未曝光區域（正膠）的...
藍寶石襯底加工工藝
2023-08-04

藍寶石單晶，是純凈的三氧化二鋁（α-Al2O3），具有極好的熱導性、電氣絕緣性、透光性、化學穩定性，以及耐高溫、高強度、高硬度等一系列優良的特性...
聚焦離子束技術及其在微納加工技術中的應用
2023-08-04

聚焦離子束（FIB）技術是將離子源產生的離子束經過離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故...
離子束刻蝕（IBE）技術研究
2023-08-03

1.離子束刻蝕（IBE）技術的原理？離子束刻蝕（IBE，Ion Beam Etching）也稱為離子銑（IBM，Ion Beam Milling），也有人稱之為離子濺射刻...
混合鍵合
2023-08-03

晶圓鍵合是近十幾年快速發展起來的新興半導體加工技術，在MEMS，CIS和存儲芯片等領域有著重要的應用，得到越來越多的關注。在信息的海洋中，晶...

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