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微納加工制造用超高純電子氣體
點擊量：659 日期：2022-08-16 編輯：硅時代
“微納加工制造用超高純電子氣體”是國家在2017年度重點研發計劃，是由多家企業和多所高校聯合申請，該項目研究很大程度上可以促進微納電子制造用戰略性先進材料的國產化電子氣體在半導體領域應用十分廣泛，在薄膜，光刻，刻蝕，摻雜，氣相沉積以及擴散等環節都有所應用，是支撐半導體發展必不可少的基礎性原材料。
