電話:15301560529
新聞
News
MEMS代工工藝之濕度傳感器
點擊量:1460 日期:2021-09-18 編輯:硅時代
濕敏元器件可以分為:電阻器式和電容傳感器二種:
1、濕敏電阻的特性是在基片上遮蓋一層用感濕原材料做成的膜,當空氣中的水蒸汽吸咐在感濕膜上時,元器件的電阻和阻值都產生變化,運用這一特點就可以測量濕度;
2、濕敏電容器一般是用高分子材料薄膜電容做成的,常見的纖維材料有聚乙烯、聚酰亞胺膜、酪酸醋酸纖維等。當自然環境濕度發生改變時,濕敏電容器的導熱系數產生變化,使其容量也產生變化,其電容器變化量與相對性濕度正比。