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全球刻蝕設備市場
點擊量：491 日期：2023-08-15 編輯：硅時代
目前，全球刻蝕機設備的參與者相對較少，行業整體處于寡頭壟斷格局。主要的參與者包括美國的Lam Research（泛林半導體）、AMAT（應用材料）、日本的TEL（東京電子）等企業。此三家企業占據全球半導體刻蝕機的94%的市場份額，而其他參與者合計僅占6%。其中，Lam Research占比高達55%，為行業的絕對龍頭。東京電子與應用材料分別占比20%和19%。
介質刻蝕方面，東京電子占比較高。東京電子一直以來都以CCP刻蝕機為主要出貨產品，其占到CCP刻蝕機總出貨量的一半以上。我國企業中微公司在2017年的市場份額達到2.5%，近幾年由于國內存儲產線的大規模建設，中微公司的市場份額亦有提升。硅刻蝕方面，Lam Research占據較高份額，其在兩類刻蝕機中均有較大出貨量，應用材料在硅刻蝕方面也有出貨。
從國內刻蝕機市場來看，Lam Research依然穩定占據龍頭地位。而我們也可以看到國產企業中微公司的身影。中微公司的介質刻蝕機主要供應國內晶圓產線和存儲產線，整體占比15%，若單算介質刻蝕的市場份額，中微公司達到25%的水平。近年來中微公司在介質刻蝕設備的突破顯著，目前也已經打入臺積電先進制程產線。
整體看，由于刻蝕機工藝技術壁壘較高，尤其是先進制程設備下游客戶要求較高，相關核心技術僅有少數廠商突破，并且在技術持續更替中，沒有能力持續研發的企業的競爭力逐漸下降，導致份額逐步壓縮，最終僅有頭部企業參與競爭，形成寡頭壟斷格局。我國企業中微公司在國家大力扶持以及公司不斷研發投入，在我國刻蝕機市場份額不斷增長，已經僅次于LAM Research。
